超高真空(UHV)是一门精密技术的艺术,各种镀膜、检测分析、量测、及其他实验皆可根据需求整合在一个或多个的超高真空(UHV)腔体(箱体),或以超高真空传输系统进行链接,TEMP TECH真空在超高真空(UHV)腔体(箱体)制作拥有丰富经验及技术。我们根据不同的实验需求对超高真空(UHV)腔体(箱体)进行精密的设计,能满足配合客户实验上的各种质量及性能要求。
空间中气体压力小于一大气压力者为真空,高真空实际定义真空压力范围大约 1.33 x 10-4 Pa (1 × 10-6 Torr),而超高真空之真空度范围为 10-7 Pa (7.5 x 10-10 Torr)或更低之压力。