超高真空(UHV)是一门精密技术的艺术，各种镀膜、检测分析、量测、及其他实验皆可根据需求整合在一个或多个的超高真空(UHV)腔体(箱体)，或以超高真空传输系统进行链接，TEMP TECH真空在超高真空(UHV)腔体(箱体)制作拥有丰富经验及技术。我们根据不同的实验需求对超高真空(UHV)腔体(箱体)进行精密的设计，能满足配合客户实验上的各种质量及性能要求。
空间中气体压力小于一大气压力者为真空，高真空实际定义真空压力范围大约 1.33 x 10-4 Pa （1 × 10-6 Torr），而超高真空之真空度范围为 10-7 Pa （7.5 x 10-10 Torr）或更低之压力。

1、球型真空腔体

2、管道型真空腔体

3、方型真空腔体

4、异型真空腔体