全流程自主工艺,探普打造真空溅射核心基材

杨心雨 2026-07-11 公司动态 253

全赛道核心应用场景

磁控靶是磁控溅射设备核心部件,广泛用于半导体、镀膜及科研实验室等,直接影响镀膜速度、膜层均匀度、生产良率与生产成本。

磁控靶枪.jpg

图一:产品设计图

行业四大痛点

供应链安全风险——现状:高端磁控靶核心技术海外垄断,进口交付周期久,存在断供隐患,风险突出。

综合采购运维成本——现状:进口设备、备件价格高,售后滞后,停机损耗大,综合成本压力高。

产线工艺适配能力——现状:海外标准机型不匹配国内非标设备与特殊镀膜工艺,调试难、膜层一致性差

国产化供给匹配度——现状:各高端制造产业链自主可控需求上涨,高性能国产靶枪供给缺口大


探普自研磁控靶枪五大核心硬核优势

结构革新,杜绝性能衰减——自研模块化磁铁组合结构,实现磁铁与水路完全物理隔离,彻底避免水冷侵蚀导致的磁铁退磁、性能衰减,长期运行性能稳定如初。

维护极简,大幅降本提效——开放式可直达磁组结构,无需复杂拆解即可清洁、检修内部组件,大幅缩短停机维护时间,有效延长设备使用寿命。

多模可控,适配全工艺场景——支持平衡 / 多类型非平衡磁控模式自由切换,溅射速率可精准调节,既可实现超高均匀性镀膜,也可满足定制化差异化沉积需求。

磁路优化,超高靶材利用率——仿真级优化磁路分布,溅射区域更合理,大幅提升靶材有效利用率,减少耗材浪费,持续降低量产生产成本。

兼容性强,软硬靶材通吃——可稳定适配6mm 厚铁磁靶材,靶材拆装快速便捷,全面覆盖半导体、光学、光伏、刀具、装饰镀膜等常规及特殊工艺场景。

探普科技全流程自研生产,交付与售后更可控。可配合客户产线做现场工艺调试,提供靶枪匹配、溅射工艺优化一站式技术支持,对比进口产品大幅缩短交付周期、降低采购与维保成本。


成品展示

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图二-四:产品实物图



关于探普

核心定位:极端科技的探索者,科研硬件的筑路者

探普科技秉持“为前沿科研筑牢硬件根基,与科研同行探索未知”的发展理念,专注UHV系统及其核心部件,超低温系统制冷设备等产品的研发定制与系统集成。产品性能稳定、适配多类极端工况,可为中科院等顶尖科研机构、高校前沿实验提供硬核硬件支撑,同时为高端工业领域交付高精密、高稳定的定制化解决方案。


核心实力:技术深耕,团队专业,体系完善

我们拥有专业的研发技术团队、完善的研产体系、丰富的专利技术储备,及从硬件设计、加工制造、性能调试到系统集成的全流程服务能力,核心团队深耕低温真空领域多年,具备大型项目全流程管理与实施经验,可精准响应科研与工业的定制化需求。

核心优势:定制化研发、极端环境适配、高精密制造、全流程服务

核心合作:中科院各科研院所、国内知名高校、高端制造企业等


微信公众号:探普科技

公司官网:http://www.njtanpu.com

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